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ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060ERH
ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060ERHULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060ERH规格模型VTR-060M/ERH真空性能达到压力10-4立架（真空层无负荷清洗时）1.510-3PA（可选规范）排气时间4.010-3Pa/20分钟（清洁真空室时不负荷）真空罐真空罐圆柱形玻璃腔体（Φ236mmH250mm）底板7个…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M
ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060MULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M规格模型VTR-060M/ERH真空性能达到压力10-4立架（真空层无负荷清洗时）1.510-3PA（可选规范）排气时间4.010-3Pa/20分钟（清洁真空室时不负荷）真空罐真空罐圆柱形玻璃腔体（Φ236mmH250mm）底板7个端口…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-1100
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-1100ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-1100特色玻璃钟形罩让内部易于观察，操作也方便。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。添加蒸发电源和电极后，实现了同时且多层沉积。更改为 EB 规范后，便于沉积耐火材料。该沉积装置配备脚轮，易于移动。…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260F
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260FULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260F特色桌面和紧凑的尺寸有助于节省安装空间。玻璃钟形罩让内部易于观察，操作也方便。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。规格模型VPC-061真空性能达到压力1.310-3Pa6.610-4PA（使用液氮时）排气时间4.…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-061
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-061ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-061特色桌面和紧凑的尺寸有助于节省安装空间。玻璃钟形罩让内部易于观察，操作也方便。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。规格模型VPC-061真空性能达到压力1.310-3Pa6.610-4PA（使用液氮时）排气时间4.01…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 ELEC-RZ
ULVAC爱发科 电源 ELEC-RZULVAC爱发科 电源 ELEC-RZ特色根据行程、转弯半径和需运输的板块数量，提供了多种臂型。COVOT-CR4 还提供高真空，10-6 Pa，这得益于其磁性流体密封。规格模型COVOT-6-X5COVOT-CR4工作压力范围大气压 ~10-1Pa大气压 ~10-6Pa晶圆尺寸200/300…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 COVOT-CR4
ULVAC爱发科 电源 COVOT-CR4ULVAC爱发科 电源 COVOT-CR4特色根据行程、转弯半径和需运输的板块数量，提供了多种臂型。COVOT-CR4 还提供高真空，10-6 Pa，这得益于其磁性流体密封。规格模型COVOT-6-X5COVOT-CR4工作压力范围大气压 ~10-1Pa大气压 ~10-6Pa晶圆尺寸200…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5
ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5特色根据行程、转弯半径和需运输的板块数量，提供了多种臂型。COVOT-CR4 还提供高真空，10-6 Pa，这得益于其磁性流体密封。规格模型COVOT-6-X5COVOT-CR4工作压力范围大气压 ~10-1Pa大气压 ~10-6Pa晶圆尺寸2…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 EXO-13
ULVAC爱发科 电源 EXO-13ULVAC爱发科 电源 EXO-13特色它能够同步最多四个射频电源的相位。通过消除相位移函数实现了低成本。规格模型EXO-13输入规范输入电压单相AC100V输入容量1VA或更低输出规范振荡频率13.56MHz0.05%外部尺寸（WDH）无突出物14511044（毫米）
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 PHS-04N
ULVAC爱发科 电源 PHS-04NULVAC爱发科 电源 PHS-04N特色可以控制多个射频电源的相位。相位偏移特性可根据阴极间的差异进行调整，提供稳定且低变性的过程。规格模型PHS-04NPHS-08N输入规范输入电压单相交流100V-240V输入容量低于70VA输出规范输出通道数量48振荡频率…
2026-04-21