ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M
ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M
规格
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 达到压力 | 10-4立架（真空层无负荷清洗时） 1.5×10-3PA（可选规范） |
| 排气时间 | 4.0×10-3Pa/20分钟（清洁真空室时不负荷） | |
| 真空罐 | 真空罐 | 圆柱形玻璃腔体（Φ236mm×H250mm） |
| 底板 | 7个端口（底部） | |
| 棋盘尺寸与最大尺寸 | □25毫米，□50毫米（最大） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构型 | 1点 |
| 蒸发电源与数量 | SEREM/PSE-150C，一组 0~10V 80A（最大功率） | |
| 排气系统 | 主泵 | 涡轮分子泵（风冷）60升/秒 |
| 辅助泵 | 油转真空泵 20L/min | |
| 油雾陷阱 | OMT-050A | |
| 运营部门 | 主阀门 | 可选（蝶阀） |
| 辅助阀门 | 可选（三通阀） | |
| 自动泄漏阀 | 可选（电磁阀） | |
| 真空室通风阀 | 选项（泄漏口） | |
| 运营 | 手动 | |
| 控制系统 | 真空计 | Option（ISG1） |
| 薄膜厚度计 | 可选（CRTM-6000G） | |
| 设置 | 最大尺寸主体 | 428毫米（宽）×438毫米（深）×713毫米（高） |
| 电源 | 480毫米（宽）×435.3毫米（深）×149毫米（高） | |
| 质量体 | 50公斤 | |
| 电源 | 24公斤 | |
公用事业
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 所需时间 | 正体 | 100伏单相 50/60Hz 0.6kVA |
| 电源 | 100伏单相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 竞争 | 车身 1Φ 100V | 带插头的乙烯基盖轮胎线 4 米 |
| 电源 1Φ 200V | 带插头的乙烯基盖轮胎线 4 米 | |
*请准备两个带接地的插座