ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-1100
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-1100
特色
玻璃钟形罩让内部易于观察，操作也方便。
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
添加蒸发电源和电极后，实现了同时且多层沉积。
更改为 EB 规范后，便于沉积耐火材料。
该沉积装置配备脚轮，易于移动。
它配备了理赔员，以确保安装的安全。
规格
| 模型 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 达到压力 | 4.0×10-4Pa 1.3×10-4PA（使用液氮时） |
| 排气时间 | 4.0×10-3Pa/10分10秒 -4Pa表/10分钟（使用液氮时） | |
| 真空罐 | 真空罐 | 玻璃钟形罩（内径Φ390mm×高度350mm） |
| Feed Sur Collar | 20个接口（14边/6个底部） | |
| 推荐及最大板块尺寸※1 | □50毫米 / □220毫米（最大） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构型 | 三点式 |
| 蒸发电源与数量 | SEREM PSE-150C，1台0 ~10V 150A（Max） | |
| 排气系统 | 主泵※2 | 油扩散泵（水冷）1100升/秒 |
| 液氮陷阱 | 是的 | |
| 辅助泵 | 油转真空泵 200升/分钟，2台 | |
| 油雾陷阱 | 选项 | |
| 运营部门 | 主阀门 | 蝶阀 |
| 辅助阀门 | 三通阀 | |
| 自动泄漏阀 | 选项 | |
| 运营 | 手动 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
| 电离真空计 | 选项 | |
| 设置 | 最大尺寸主体 | 1235毫米（宽）×836毫米（深）×2155毫米（高） |
| 电源 | 设备存储 | |
| 质量体 | 313公斤 | |
| 电源 | 设备存储 | |
*1：最大板尺寸是指未考虑胶片厚度分布时的数值。
*2：将安排涡轮分子泵（TMP）规格。
公用事业
| 模型 | VPC-1100 | |
| 所需时间 | 正体 | 200伏三相 50/60Hz 5.0kVA |
| 电源 | 100伏单相50/60Hz 1.0kVA | |
| 地面终端 | D型（接地电阻100Ω或以下） | |
| 竞争 | 车身 3Φ 200V | 乙烯基盖轮胎线（R3.5-4带压接端子）4米 |
| 电源 1Φ 100V | 带插头的乙烯基盖轮胎线 4 米 | |
| 用水需求 | 1.5升/分钟（水温：20~25°C，水压：200kPa（表压）） | |
| 格斗（插座） | Rp1/4（带Cantouch接头） | |
| 推荐软管※ | Tetron刀片软管（内径9毫米×外径15毫米） | |
*请为客户准备冷却水管。
尺寸绘制
VPC-1100
