ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5
ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5
特色
根据行程、转弯半径和需运输的板块数量，提供了多种臂型。
COVOT-CR4 还提供高真空，10-6 Pa，这得益于其磁性流体密封。
规格
| 模型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作压力范围 | 大气压 ~10-1Pa | 大气压 ~10-6Pa | |
| 晶圆尺寸 | 200/300毫米 | 200/300毫米 | |
| 持有的晶圆数量 | 4张纸 | 2件棋子 | |
| 最大伸展 * | 880毫米 | 1050毫米 | |
| 旋转角 | 360° 无尽 | ±180° | |
| 抬升行程 | 110毫米 | 120毫米 | |
| 最小转向直径 * | 980毫米 | 960毫米 | |
| 有效载荷（包括手） | 1公斤 | 1公斤 | |
| 工作速度 | 望远镜 | 最大1.5秒/全行程 | 最大 1.5 秒/780mm |
| 旋涡 | 最大2.0秒 / 180° | 最大2.0秒 / 180° | |
| 兴衰 | 最大1.5秒 / 20毫米 | 最大3.5秒 / 105毫米 | |
| 重复位置精度 | 望远镜 | ±0.1毫米 | ±0.1毫米 |
| 旋涡 | ±0.1毫米 | ±0.1毫米 | |
| 兴衰 | ±0.1毫米 | ±0.1毫米 | |
| 教学吊坠 | 收录 | 收录 | |
| 控制器 | 分离 | 分离 | |
*这取决于安装的手臂和手。