ULVAC爱发科 电源 EXO-13
ULVAC爱发科 电源 EXO-13
特色
它能够同步最多四个射频电源的相位。
通过消除相位移函数实现了低成本。
规格
| 模型 | EXO-13 | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相AC100V |
| 输入容量 | 1VA或更低 | |
| 输出规范 | 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% |
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 145×110×44（毫米） | |
ULVAC爱发科 电源 EXO-13ULVAC爱发科 电源 EXO-13特色它能够同步最多四个射频电源的相位。通过消除相位移函数实现了低成本。规格模型EXO-13输入规范输入电压单相AC100V输入容量1VA或更低输出规范振荡频率13.56MHz0.05%外部尺寸（WDH）无突出物14511044（毫米）
ULVAC爱发科 电源 EXO-13
ULVAC爱发科 电源 EXO-13
它能够同步最多四个射频电源的相位。
通过消除相位移函数实现了低成本。
| 模型 | EXO-13 | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相AC100V |
| 输入容量 | 1VA或更低 | |
| 输出规范 | 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% |
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 145×110×44（毫米） | |