ULVAC爱发科 电源 PHS-04N
ULVAC爱发科 电源 PHS-04N
特色
可以控制多个射频电源的相位。
相位偏移特性可根据阴极间的差异进行调整，提供稳定且低变性的过程。
规格
| 模型 | PHS-04N | PHS-08N | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相交流100V-240V | |
| 输入容量 | 低于70VA | ||
| 输出规范 | 输出通道数量 | 4 | 8 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位设定范围 | 0°~359.9° | ||
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 480×192×49（毫米） | ||
ULVAC爱发科 电源 PHS-04NULVAC爱发科 电源 PHS-04N特色可以控制多个射频电源的相位。相位偏移特性可根据阴极间的差异进行调整，提供稳定且低变性的过程。规格模型PHS-04NPHS-08N输入规范输入电压单相交流100V-240V输入容量低于70VA输出规范输出通道数量48振荡频率…
ULVAC爱发科 电源 PHS-04N
ULVAC爱发科 电源 PHS-04N
可以控制多个射频电源的相位。
相位偏移特性可根据阴极间的差异进行调整，提供稳定且低变性的过程。
| 模型 | PHS-04N | PHS-08N | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相交流100V-240V | |
| 输入容量 | 低于70VA | ||
| 输出规范 | 输出通道数量 | 4 | 8 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位设定范围 | 0°~359.9° | ||
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 480×192×49（毫米） | ||