ULVAC爱发科 电源 RFS-1350N
ULVAC爱发科 电源 RFS-1350N
特色
通过安装高功率转换效率的射频电路实现节能
高速自动匹配与高速算法
内置射频电源自动匹配功能
可支持外部模拟控制，串行通信控制
极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。
规格
| 射频功率模型 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 输入规范 | 输入电压 | 单相交流200V - 220V | 三相交流电200V - 220V | ||
| 输入容量 | 1.2 kVA或更低 | 低于1.8 kVA | 低于5千伏安 | 低于8千伏安 | |
| 输出规范 | 振荡频率 | 13.56MHz | |||
| 功率等级 | 500W（50Ω负载） | 50Ω负载时1000W。 | 3000W（50Ω负载） | 5000W（50Ω负载时） | |
| 同轴输出连接器 | N型 | HN型 | DIN 7/16 | ||
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | 强制风冷+水冷 | |||
| 没有冷却水 | 流量4升/分钟 | 流量：6升/分钟 | |||
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 240 x 495 x 150（毫米） | 480 × 500 × 150 （毫米） | |||
| 质量 | 约11公斤 | 约23公斤 | |||
| 贴合规格 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | ||||
| 匹配盒模型 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 输入功率 | 30~500W | 30~1000W | 30~3000W | 50~5000W |
| 允许输出电流 | 30臂 | 80号武器 | 120武器 | |
| 允许输出电压 | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | 水冷（2升/分钟） | ||
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 375 × 250 × 120 （毫米） | 375 × 250 × 170 毫米 | 450 × 500 × 248 （毫米） | |
| 质量 | 约8公斤 | 大约10公斤 | 约21公斤 | |
| 贴合规格 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | |||