ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-061
ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-061
特色
桌面和紧凑的尺寸有助于节省安装空间。
玻璃钟形罩让内部易于观察，操作也方便。
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
规格
| 模型 | VPC-061 | |
| 真空性能 | 达到压力 | 1.3×10-3Pa 6.6×10-4PA（使用液氮时） |
| 排气时间 | 4.0×10-3Pa/20分钟 1.3×10-3Pa/20分钟（使用液氮时） | |
| 真空罐 | 真空罐 | 玻璃钟罩（内径Φ150mm×高度200mm） |
| Feed Sur Collar | 3个端口（3个底部） | |
| 推荐及最大板块尺寸 *1 | □25毫米，□50毫米（最大） | |
| 电源系统 | 蒸发电极构型 | 1点 |
| 蒸发电源与数量 | SEREM PSE-150C，1台0 ~10V 150A（Max） | |
| 排气系统 | 主泵 | 油扩散泵（风冷）50升/秒 |
| 液氮陷阱 | 是的 | |
| 辅助泵 | 油转真空泵 20L/min | |
| 油雾陷阱 | 选项 | |
| 运营部门 | 主阀门 | 蝶阀 |
| 辅助阀门 | 三通阀 | |
| 自动泄漏阀 | ー | |
| 运营 | 手动 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | 选项 |
| 电离真空计 | 选项 | |
| 设置 | 最大尺寸主体 | 434毫米（宽）×422毫米（深）×673毫米（高） |
| 电源 | 480毫米（宽）×435.3毫米（深）×149毫米（高） | |
| 质量体 | 28公斤 | |
| 电源 | 40公斤 | |
*1：最大板尺寸是指未考虑胶片厚度分布时的数值。
公用事业
| 模型 | VPC-061 | |
| 所需时间 | 正体 | 100伏单相 50/60Hz 0.63kVA |
| 电源 | 200V单相50/60Hz 1.5kVA | |
| 地面终端 | D型（接地电阻100Ω或以下） | |
| 竞争 | 车身 1Φ 100V | 带插头的乙烯基轮胎帽2米 |
| 电源 1Φ 200V | 乙烯基盖轮胎线（R2.0-5带压接端子）2米 | |