ULVAC爱发科   沉积设备  UHE10

ULVAC爱发科   沉积设备  UHE10


仕様

■コールドヘッド

ModelUHE10
到達温度2nd stage2.7K
冷凍出力1st stage40W(50Hz)/50W(60Hz)@43K
2nd stage1.0W@4.2K(50Hz/60Hz)
外形寸法304(D)×180(W)×578(H)mm
コンプレッサユニットC30HVRT
重 量約17kg