ULVAC爱发科 沉积设备 UHE10
ULVAC爱发科 沉积设备 UHE10
仕様
■コールドヘッド
| Model | UHE10 | |
| 到達温度 | 2nd stage | 2.7K |
| 冷凍出力 | 1st stage | 40W(50Hz)/50W(60Hz)@43K |
| 2nd stage | 1.0W@4.2K(50Hz/60Hz) | |
| 外形寸法 | 304(D)×180(W)×578(H)mm | |
| コンプレッサユニット | C30HVRT | |
| 重 量 | 約17kg | |
ULVAC爱发科 沉积设备 UHE10ULVAC爱发科 沉积设备 UHE10仕様■コールドヘッドModelUHE10到達温度2nd stage2.7K冷凍出力1st stage40W(50Hz)/50W(60Hz)@43K2nd stage1.0W@4.2K(50Hz/60Hz)外形寸法304(D)180(W)578(H)mmコンプレッサユニットC30HVRT重 量約17kg
ULVAC爱发科 沉积设备 UHE10
ULVAC爱发科 沉积设备 UHE10
■コールドヘッド
| Model | UHE10 | |
| 到達温度 | 2nd stage | 2.7K |
| 冷凍出力 | 1st stage | 40W(50Hz)/50W(60Hz)@43K |
| 2nd stage | 1.0W@4.2K(50Hz/60Hz) | |
| 外形寸法 | 304(D)×180(W)×578(H)mm | |
| コンプレッサユニット | C30HVRT | |
| 重 量 | 約17kg | |