ULVAC爱发科 沉积设备 HE05
ULVAC爱发科 沉积设备 HE05
仕様
■コールドヘッド
| Model | HE05 | |
| 到達温度 | 2nd stage | 2.7K |
| 冷凍出力 | 1st stage | 10W@40K |
| 2nd stage | 0.5W@4.2K | |
| 外形寸法 | 146(W)×282(D)×495(H)mm | |
| コンプレッサユニット | UW404 | |
| 重 量 | 約11kg | |
■使用環境
| 周囲温度 | 10~38℃ |
| 相対温度 | 85%以下 |
| クライオスタット使用時の真空度 | 起動時 0.1Pa以下 |
ULVAC爱发科 沉积设备 HE05ULVAC爱发科 沉积设备 HE05仕様■コールドヘッドModelHE05到達温度2nd stage2.7K冷凍出力1st stage10W@40K2nd stage0.5W@4.2K外形寸法146(W)282(D)495(H)mmコンプレッサユニットUW404重 量約11kg■使用環境周囲温度10~38℃相対温度85%以下…
ULVAC爱发科 沉积设备 HE05
ULVAC爱发科 沉积设备 HE05
■コールドヘッド
| Model | HE05 | |
| 到達温度 | 2nd stage | 2.7K |
| 冷凍出力 | 1st stage | 10W@40K |
| 2nd stage | 0.5W@4.2K | |
| 外形寸法 | 146(W)×282(D)×495(H)mm | |
| コンプレッサユニット | UW404 | |
| 重 量 | 約11kg | |
■使用環境
| 周囲温度 | 10~38℃ |
| 相対温度 | 85%以下 |
| クライオスタット使用時の真空度 | 起動時 0.1Pa以下 |