ULVAC爱发科   沉积设备  HE05

ULVAC爱发科   沉积设备  HE05


仕様

■コールドヘッド

ModelHE05
到達温度2nd stage2.7K
冷凍出力1st stage10W@40K
2nd stage0.5W@4.2K
外形寸法146(W)×282(D)×495(H)mm
コンプレッサユニットUW404
重 量約11kg

■使用環境

周囲温度10~38℃
相対温度85%以下
クライオスタット使用時の真空度起動時 0.1Pa以下