ULVAC爱发科   沉积设备  UHE15

ULVAC爱发科   沉积设备  UHE15



规格

■冷血头脑

模型UHE15
达到温度第二阶段2.7K
制冷输出第一阶段35W（50Hz）/45W（60Hz）@50K
第二阶段1.5W@4.2K（50Hz/60Hz）
尺寸304（D）×180（W）×580（H）毫米
压缩机单元C30HVRT
重量约18公斤