ULVAC爱发科 沉积设备 PDC08
ULVAC爱发科 沉积设备 PDC08
规格
连接管道：2米（Φ6.35）低温端面朝下时无缓冲器
冷头
| 模型 | PDC08 |
| 达到温度 | 45/40K |
| 制冷输出（50/60Hz） | 5W/7.5W@77K |
| 尺寸 | Φ79×298（H） |
| 压缩机单元 | SA112，SW112 |
| 重量 | 约1.5公斤 |
压力开关电机
| 模型 | M601 |
| 尺寸 | Φ109×139（H） |
| 质量 | 约3.8公斤 |
使用环境
| 环境温度 | 5~35°C |
| 相对温度 | 低于85% |
| 使用低温容器时的真空液位 | 创业时间少于10Pa |