ULVAC爱发科   沉积设备  PD016

ULVAC爱发科   沉积设备  PD016


规格

功率频率50Hz/60Hz
冷冻容量*1
(1级)
1根连接管(100伏)Φ6.35
×0.5m×
12W/77K
连接管(200伏)
Φ6.35×0.5m×单件式
18W/77K
到达温度*140K
冷却时间(77K)*130分钟
质量4.5公斤
动力单元M501(100V)/M502(200V)
质量4公斤
尺寸123(西)×169(民主)×379(H)毫米
维护间隔*2一万小时

*1 无负载时的数值。 性能取决于冰箱和冷却液的安装环境。
*2 建议维护周期,而非保修时间。