ULVAC爱发科 沉积设备 PSE-15C32211
ULVAC爱发科 沉积设备 PSE-15C32211
规格
| 电压 | 交流100V单相0.8kVA（50/60Hz）允许电压波动范围=±10% |
| 负载电流 | 最大80A |
| 控制信号 | 外部自动控制输入 DC-0~10V/0~100% 设置接收阻抗 1MΩ |
| 电力控制系统 | 晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10%，输出波动±2%） |
| 定格画面 | 30分钟 |
| 尺寸 | 480毫米（宽）×360毫米（深）×149毫米（高）（不含突出部和配件） |
| 质量 | 约24公斤 |
选项
| 规范代码 | PSE-15C11111 | PSE-15C21111 | PSE-15C31111 | PSE-15C12211 | PSE-15C22211 | PSE-15C32211 |
| 输出位置切换函数 | 一点交换 | 两点交换 | 三点切换 | 一点交换 | 两点交换 | 三点切换 |
| 低功耗分接开关功能 | 没有 | 没有 | 没有 | 是的 | 是的 | 是的 |
| 沉积控制器的自动控制 | 没有 | 没有 | 没有 | 是的 | 是的 | 是的 |
| 带温度指示器的自动控制 | 没有 | 没有 | 没有 | 没有 | 没有 | 没有 |
| 输出遥控器 | 选项 | 选项 | 选项 | 选项 | 选项 | 选项 |
规范代码
| 物品 | 代码 | 规格 |
| 1. 系列 | PSE- | 用于电阻加热真空沉积设备的蒸发电源，面板机架式，数字显示 |
| 2. 功率容量→输出容量可选择。 | 8 | 输入：单相100伏，输出：80A（最大）0~10V 0.8kVA（最大）*注1 |
| 5 | 输入：单相200V，输出：150A（最大）0~10V 1.5kVA（最大） | |
| 3. 控制方法 | C | 自动恒定输出反馈控制（可选择恒流/恒定电压/恒定功率） |
| 4. 输出位置切换功能 →可根据蒸发源的电极配置选择。 | 1 | 无：1分 |
| 2 | 两点交换 | |
| 3 | 三点切换 | |
| 5. 低功耗抽头切换功能→ 对有机物等小范围输出调整有效。 | 1 | 没有 |
| 2 | 低功率（0~50A）/高功率（0~150A）变压器抽头开关 | |
| 6. 自动控制功能 →此功能用于通过沉积控制器自动控制输出。 | 1 | 无：手动调节 |
| 2 | 配备通过涂层厚度计实现的自动输出控制功能（固定式） | |
| 3 | 通过涂层厚度计或温度计实现自动输出控制功能（切换） | |
| 7. 内置温度指示器 控制器→此功能用于通过温度计实现自动输出控制。 | 1 | 没有 |
| 2 | 是的（PID控制系统）*注释2 | |
| 8. 输出遥控器→用于在监控真空室时调节输出 | 1 | 没有 |
| 2 | 是的（开关，上下操作） |
*备注1 提供输出位置切换功能、胶片厚度计自动功能和输出远程控制。 （不支持低功耗功能、自动温度功能和温度计功能）
*注2 自动控制功能[3]仅在选择时应用。