ULVAC爱发科 高速光谱椭圆仪 UNECS-1M
ULVAC爱发科 高速光谱椭圆仪 UNECS-1M
特色
高速测量：
独特的快照方法提供最高20毫秒的高速测量。可见光光谱支持：
波长范围可选择标准（530nm~750nm）和可见光光谱（380nm~760nm）。紧凑型传感器单元：
投影和接收传感器仅由光学元件组成，无旋转机构，极为轻便紧凑，无需定期维护。内置类型：
紧凑轻便的传感器和控制单元，便于集成到检测设备等中。
用途
测量透明或半透明薄膜（如氧化物、氮化物、抗蚀剂、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰减系数
规格
| 波长范围 | 530~750nm，380~760nm（任一选择） | |
| 斑点直径 | Φ1mm，Φ0.3mm（任一选项） | |
| 入射角 | 70°凝视 | |
| 薄膜厚度的可重复性 | 1σ = 0.1nm | |
| 胶片厚度范围 | 1nm ~ 2μm | |
| 测量时间 | 光信号接收：20毫秒 ~ 3000毫秒 操作时间：300毫秒 | |
| 设备配置 | 测量头、控制箱、光源单元、说明书（CD）、分析软件（CD） *控制电脑未包含在规范中 | |