ULVAC爱发科   高速光谱椭圆仪  UNECS-3000A

ULVAC爱发科   高速光谱椭圆仪  UNECS-3000A

特色

  • 高速测量：
    独特的快照方法提供最高20毫秒的高速测量。

  • 可见光光谱支持：
    波长范围可选择标准（530nm~750nm）和可见光光谱（380nm~760nm）。

  • 紧凑型传感器单元：
    投影和接收传感器仅由光学元件组成，无旋转机构，极为轻便紧凑，无需定期维护。

  • 150mm自动级：
    配备Φ150mm的自动R-θ级和自动对焦功能，能够在板面内进行自动定位测量。

用途

  • 测量透明或半透明薄膜（如氧化物、氮化物、抗蚀剂、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰减系数

规格

模型1500A2000A3000A
波长范围530~750nm，380~760nm（任一选择）
斑点直径Φ1mm，Φ0.3mm（任一选项）
入射角70°凝视
薄膜厚度的可重复性1σ = 0.1nm
胶片厚度范围1nm~2μm
测量时间光信号接收：20毫秒 ~ 3000毫秒 操作时间：300毫秒
舞台Φ150毫米自动Φ200毫米自动Φ300毫米自动
自动测量200分200分2000分
控制电脑笔记本类型（含操作和分析软件）
设备配置测量本体、控制器、笔记本电脑（笔记本电脑类型）、说明书（CD）