ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U16
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U16
特色
它非常适合中大型生产设备。
非常适合批量大型沉积设备。
耐热负荷。
尺寸（毫米）
规格
| 排气速度（20°C） | 氮 | L/s | 5,000 |
| 氢气 | 10,000 | ||
| 氩气 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 达到压力 | 帕（托尔） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s（Torr・L/s） | 1.4×103(11.0) |
| 排水容量 | 氩气 | Pa・L（Torr・L） | 4.3×108（3.3×106) |
| 氢气 | 2.4×106（1.8×104) | ||
| 冷却投放时间 （电源循环） | min（Hz） | 110/100(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-400 | ||
| 压缩机单元 | C30VRT | ||
| 质量 | 公斤 | 61.0 | |
*维护间隔：16,000小时
*基地迁移为可选