ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U12HSP
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U12HSP
特色
非常适合中大型生产设备。
耐热载荷，适用于多种工艺。
尺寸（毫米）
规格
| 排气速度（20°C） | 氮 | L/s | 4,000 |
| 氢气 | 6,000 | ||
| 氩气 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 达到压力 | 帕（托尔） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s（Torr・L/s） | 2.0×103(15) |
| 排水容量 | 氩气 | Pa・L（Torr・L） | 2.1×108（1.6×106) |
| 氢气 | 9.8×105（7.4×103) | ||
| 冷却投放时间 （电源循环） | min（Hz） | 85/75(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-300,10B澳大利亚国家安全保险公司（ANSI） | ||
| 压缩机单元 | C30VRT | ||
| 质量 | 公斤 | 40.0 | |
* 维护间隔：16,000小时
* 移动基地为可选