OHKURA大仓 半导体制造设备 DF2600
OHKURA大仓 半导体制造设备 DF2600
该设备是一种垂直热处理炉（扩散炉）系统，用于半导体制造过程中的热处理。
传统半导体工厂中使用的大容量热处理反应器价格合理，能够根据用户的具
体需求灵活响应各单元的特殊规格。
特色
■性价比
客户在推出时的响应，可通过缩短启动时间
以低价提供
■安装性能 设备大纲与
现有洁净室
兼容 机体尺寸：H2600×W900×D1280
■维护性能 由于
主要组件和软件均由内部开发，维护可持续
延续
■定制性能 可
满足
客户需求进行多种定制。
■产品性能 可由
水平炉替代的足迹
节约
■节能性能 通过开发
高效加热器，实现
了比我公司10%的节能 可选支持高速温度提升和高温过程