OHKURA大仓 半导体制造设备 DF1000
OHKURA大仓 半导体制造设备 DF1000
规格
| 晶圆尺寸 | ~φ200毫米 | ~φ150毫米 | ~φ125毫米 | ~φ100毫米 |
|---|---|---|---|---|
| 炉子尺寸 *1 | 宽 2650毫米×深 1200毫米× 高 2580毫米 | 宽2300毫米× 深850毫米× 高2395毫米 | 宽2180毫米× 深850毫米× 高2395毫米 | 宽 1850毫米×深 700毫米× 高 2150毫米 |
| 平均发情时长 *2 | 900毫米±1.0°C （无气体） | 900毫米±1.0°C （无气体） | 800毫米±1.0°C （无气体） | 800毫米±1.0°C （无气体） |
| 温度范围 | 600~1200°C | 600~1200°C | 600~1200°C | 600~1200°C |
| 温度控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 |
| 运输系统（可选） | 软装载 船电梯 | 软装载船 电梯 装载船 | 软装载船 电梯 装载船 | 船装机 |