OHKURA大仓 工业仪器 MF5100B
OHKURA大仓 工业仪器 MF5100B
MF5100B系列是一款质量流量计和质量流量控制器，结合了易用性和高性能，包括宽流量范围、高温度稳定性以及具有三种模式的软启动功能。
特色
■宽流量范围 流量
范围从最低5 SCCM到最大400 SLM不等。
■高可靠性 我们对每个电路进行了集成
并优化机械系统，尽管体积小，仍实现了高可靠性。
■软启动功能 主机内置的
软启动功能为线性上升，可按时调整（最长70秒），并有三种模式（切换设置、开机和外部阀门闭合→打开）。
■高稳定性
温度稳定性为0.05%/°C，泄漏标准可达1×10-10Pa·m3/s（He）。
*请参见规格表以获取规格。