OHKURA大仓 工业仪器 MF1151B
OHKURA大仓 工业仪器 MF1151B
规格
| 模型 | 质量流量计 | 质量流量控制器 | ||
|---|---|---|---|---|
| 标准范围 | 低价 | 通用用途 | 低价 | 通用用途 |
| 控制范围 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（北卡） MF1181B（新不） | MF1141B（北卡） MF1151B（新罕至） |
| 准确度评级 | 0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM 0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃 0~300 〃 0~300 〃 0~5 〃 0~500 〃 0~10 〃 0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃 | 0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM 0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃 0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃 0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃 1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃 | ||
| 控制范围 | － | 2~100%F.S | ||
| 准确度评级 | ± 2% FS 或更低 | ±FS低于1.5% | ± 2% FS 或更低 | ±FS低于1.5% |
| 线性 | ± 1% FS 或更低 | ±0.7%的FS或更低 | ± 1% FS 或更低 | ±0.7%的FS或更低 |
| 可重复性 | ±0.2%的FS或更低 | ±0.2%的FS或更低 | ±0.2%的FS或更低 | ±0.2%的FS或更低 |
| 响应时间 | 输出电压在约3秒内收敛到设定值±2% F.S.以内 | |||
| 最大操作压力 | 1.0MPa | |||
| 耐压 | 1.5MPa | |||
| 压降 | 5.0kPa | |||
| 压差 | － | 5SCCM~5SLM ： 34~275kPa 10~20SLM ： 69~275kPa | ||
| 流设置 | － | 0~5伏直流电 | 0~5V 直流电（标准） 1 ~5V 直流电（可选） | |
| 输出信号 | 0~5伏直流电 | 0~5V 直流电（标准） 1 ~5V 直流电（可选） | ||
| 工作温度范围 | 5~45°C（相同气体温度） | |||
| 安装姿势误差 | ±0.5%的FS或更低（安装位置自由） | |||
| 泄漏标准 | 标准标准配置为1.013×10-9·米3/s（He）或更低 | |||
| 管道连接 | 1/4 Swagelok（标准），录像机（可选） | |||
| 气体接触部件材料 | SUS316，氟橡胶 | SUS316，氟橡胶，氟聚合物 | ||
| 质量 | 约680克 | 大约800克 | ||
| 功耗 | 1VA或更低 | 3VA或更低 | ||