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MISAKA米卡萨 MA-60F 对准器
MISAKA米卡萨 MA-60F 对准器MISAKA米卡萨 MA-60F 对准器最大板块尺寸φ6英寸显微分辨率使用物镜201.2微米时最大基底厚度2毫米最大遮罩尺寸77英寸对准间隙延长函数标准装备紫外线灯屋积分器类型光>18mW/c㎡（405nm）机械臂行程范围X/Y5毫米微移动1/8毫米旋转θ…
产品详情
Product Detail
MISAKA米卡萨 MA-60F 对准器
MISAKA米卡萨 MA-60F 对准器
最大板块尺寸 | φ6英寸 | 显微分辨率 | 使用物镜20×1.2微米 时 |
最大基底厚度 | 2毫米 | ||
最大遮罩尺寸 | 7×7英寸 | 对准 间隙延长函数 | 标准装备 |
紫外线灯屋 | 积分器类型 | ||
光 | >18mW/c㎡（405nm） | 机械臂 行程范围 | X/Y±5毫米微移动1/8毫米 旋转θ：70°微移动±7° Z-4毫米（气动驱动1毫米/粗 移动3毫米） 微移动0.16毫米 |
| 照度均匀性 | <±5.0% | ||
| 曝光光源 | 紫外线灯 250W | ||
| 交叉运动舞台 移动范围 | X/Y±20毫米 | ||
| 曝光波长 | 宽带（G线、H线和I线路） | ||
| 曝光计时器 | 0~999.9秒 计时器设置 类型 1~9999 计数 累计光强度计数器类型 切换方法 | 气动 | 对于掩膜阶段 0.5MPa |
| 氮 | 对于N2爆破0.5MPa | ||
| 紫外线灯 衰减校正函数 | 标准装备 | 真空 | 掩 膜和基底吸附率为-0.08MPa |
联系方式 | 软 接触/硬接触 | 振动消除平台 | 标准装备 |
| 权力 | AC100~110V 50/60Hz 20A | ||
对齐范围 | 双视场显微 镜物镜间距 18~60mm | 尺寸 （毫米/含震动隔音表） | 1130W×1650H×800D |
| 重量 | 360公斤 |