MISAKA米卡萨 MA-10B 对准器

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MISAKA米卡萨 MA-10B 对准器

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MISAKA米卡萨 MA-10B 对准器 MISAKA米卡萨 MA-10B 对准器 ≫ ● 机械臂级可移动50毫米便于校准和校准 ● 活动部件上安装传感器以防止故障● 轻量设计 *相比我们的MA-10● 配有抽屉板防止面罩掉落 *根据掩膜玻璃规格制造● 兼容尺寸不规则的基材 *真空吸附样品架根据…

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MISAKA米卡萨  MA-10B  对准器  

MISAKA米卡萨  MA-10B  对准器  

≫ ● 机械臂级可移动±50毫米便于校准
和校准 ● 活动部件上安装传感器以防止故障
● 轻量设计 *相比我们的MA-10
● 配有抽屉板防止面罩掉落 *
根据掩膜玻璃规格制造● 兼容尺寸不规则的基材 *真空吸附样品架根据基材制作。
TR>最大板块尺寸φ4英寸运营部门触摸面板最大基底厚度2毫米最大遮罩尺寸5×5”联锁机构掩膜与晶圆吸附Z轴 下限位置示波器摆动 上/下位置作手 拉机位置紫外线灯屋准直器类型光>8mW/c㎡（405nm处）机械臂行程范围X/Y±6.5毫米微震0.025毫米1旋转θ：50°微震 ±5°Z：10毫米微震0.025毫米照度均匀性<±8.5%曝光光源紫外线灯 250W交叉运动舞台移动范围X/Y±50mm曝光波长宽带（G线、H线和I线路）曝光计时器0~999.9秒计时器集合类型权力AC100V 50/60Hz 9A效用空气：0.5MPa用于示波器摆动/舞台锁定N2：0.5MPa用于硬接触真空：-0.08MPa用于面罩/基材吸附紫外线灯衰减校正函数不可安装对齐范围双视场显微镜物镜间距 18~60mm显微分辨率1.2微米物镜，20×尺寸（毫米）750W×600H×650D重量约90公斤对准间隙延长函数不可安装选择专用震动隔离表、真空泵、三目镜管监测仪规格、曝光光源500W规格联系方式软接触/硬接触