MISAKA米卡萨 M-1S 对准器

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MISAKA米卡萨 M-1S 对准器

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MISAKA米卡萨 M-1S 对准器 MISAKA米卡萨 M-1S 对准器 这是一种手动接触式遮罩对准器。■ 可用于多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜。■ 根据您的预算和应用，我们提供三种曝光光源：准直型、多镜型和积分型。■ 我们有兼容最大尺寸为55mm~1001…

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Product Detail

MISAKA米卡萨  M-1S  对准器  

MISAKA米卡萨  M-1S  对准器  

 这是一种手动接触式遮罩对准器。
■ 可用于多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜。
■ 根据您的预算和应用，我们提供三种曝光
光源：准直型、多镜型和积分型。
■ 我们有兼容最大尺寸为5×5mm~100×100mm和φ6英寸的基材型号。
■ 更换掩膜架和样品架易于更换，非常适合研发应用。
■ 校准镜物镜有三种
类型：4×、10×和20×根据应用类型，如高校准和薄膜厚度。

最大板块尺寸

φ3英寸显微分辨率1个物镜×3.7微米

最大基底厚度

2毫米

最大遮罩尺寸

4×4英寸对准
间隙延长函数		不可安装

紫外线灯屋

准直器类型

光

>8mW/c㎡（405nm处）机械臂
行程范围		X/Y±5毫米微震 1/8毫米1旋转
θ：70°微震 ±7°
Z：3毫米微震0.16毫米
照度均匀性<±8.5%
曝光光源紫外线灯 250W
交叉运动舞台
移动范围		不可安装
曝光波长宽带（G线、H线和I线路）
曝光计时器0~999.9秒计
时器集合类型		气动无
氮0.5MPa，硬
接触安装
紫外线灯
衰减校正函数		不可安装真空掩
膜和基底吸附率为-0.08MPa

联系方式

软接触
（硬接触
/可选）		振动消除平台选择
权力AC100~110V 50/60Hz 20A

对齐范围

双筒立体显微镜
（变焦）		尺寸（毫米）800W×730H×500D
重量100公斤