ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM401

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ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM401

ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM401

ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM401ULVAC爱发科 油旋转真空泵 TM401规范型安装法兰 *1应用真空泵质量（公斤）材料TMX-1特殊法兰：G1/1/2PVD-180（B） *2PVD-360（B）VD151VD2011.1琴体：低碳钢（SPCC） 滤网：玻璃棉TM201VF40/G 1/1/2VD30C（低负载）5个VD40C（低负…

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ULVAC爱发科   油旋转真空泵   TM401

ULVAC爱发科   油旋转真空泵   TM401




规范

型安装法兰 *1应用真空泵质量（公斤）材料
TMX-1特殊法兰：G1/1/2

PVD-180（B） *2

PVD-360（B）

VD151

VD201

1.1琴体：低碳钢（SPCC） 滤网
：玻璃棉
TM201VF40/G 1/1/2VD30C（低负载）×5个
VD40C（低负载）		8.5
TM401VF40/G 1/1/2VD30C（高负载）*6个
VD40C（高负载）VD60C
（低负载）
VD90C（低负载）		10
TM-2
（标准型，F型）*3		VG50/G2，VG50
（用于PKS-016），
VF40/G2，VG50
（用于VD60C/VD90C）		PKS-016
VD60C（高负载）*2
VD90C（高负载）		5.7(6.2) *4
TM-3
（标准型，F型）


VG80/G3，VG80
（用于PKS-030），
VF50\G3，VG80
（用于VS1501）		PKS-030
VS1501		10(11.5)*4
TM-4
（标准型，F型）		VG100/G4，VG100
（用于PKS-070），
VF50/G4，VG100
（用于VS2401）		PKS-070
VS2401		23.5(25)*4
TM-4SVG100
/VG100（用于PKS-070）
VF50/VG100
（用于VS2401）		PKS-070（高负载）
VS2401（高负载）		59

*1 泵侧安装法兰：JIS B2290真空法兰（不含特殊法兰）/排气侧管螺丝直径

*2 安装在PVD-180（B）、PVD-360（B）、VD151、VD201、VD60C和VD90C上所需的适配器

*3 标准型：伞型，F型：法兰型。

*4 （ ） 中的质量是法兰安装时的质量。

*5 对于低负载，应以持续进气压力为10 kPa或更低作为参考。

*6 对于重载，连续进气压力应为100kPa或以下作为参考。