HORIBA堀场 液体浓度监测仪 CS-1000

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HORIBA堀场 液体浓度监测仪 CS-1000

HORIBA堀场 液体浓度监测仪 CS-1000

HORIBA堀场 液体浓度监测仪 CS-1000HORIBA堀场 液体浓度监测仪 CS-1000[基本规格]产品名称化学监测系统模型CS-1000测量项目化学浓度、电导率、pH值测量原则吸收光谱、双极电导率法、玻璃电极法靶向化学溶液半导体制造工艺中使用的多组分化学解决方案（详情请联系…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场   液体浓度监测仪   CS-1000

HORIBA堀场   液体浓度监测仪   CS-1000



[基本规格]

产品名称化学监测系统
模型CS-1000
测量项目化学浓度、电导率、pH值
测量原则吸收光谱、双极电导率法、玻璃电极法
靶向化学溶液半导体制造工艺中使用的多组分化学解决方案（详情请联系我们）
尺寸700（西）×610（D）×1640（H）毫米（不包括突出物）
质量约200公斤
湿润材料柜体（PFA，PTFE）吸收仪
（PFA，PTFE，石英，Kalrez™）电导率
计（PFA，碳，Kalrez™），
pH计——带排水口（PVC，PTFE，玻璃，ETFE，PEEK，烯烃树脂，THV，PFA， Kalrez，PharMed™ BPT）*
Karlez™ 是杜邦德内穆尔公司（DuPont de Nemours， Inc.）的商标。
认证标准CE，KC，FCC 规则第15部分，UKCA，SEMI S2
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【装置环境】

环境温度20~30°C（室温无骤变，温度在±0.5°C/1小时内）
环境湿度40~70%相对湿度（非凝结）
电源交流190~240V（单相），50/60Hz
功耗约355VA（不含启动瞬态电流）
交通模拟输出：4-20mA，串行输入输出：RS-485 Modbus（RTU），并行输入/输出
* 然而，当测量值未被更新时，例如设备故障时，电压固定为1.5mA。
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[维护]

消耗品客户或我们的服务工程师
更换零件：卤素灯（寿命约1年）、氘
灯（寿命约6个月）、试剂
pH4（JIS合规）、pH7（JIS合规）、KCl（3.33moL AgCl飽和溶液）（更换周期：约6个月）