Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG50F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG50F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG50FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG50F吸气口法兰VG65/ISO-R63/CF63排气速度N2 (L/s)51N2(附加金属保护网) (L/s)49H2 (L/s)12最大压缩比N21.4107H25102极限压力VG・ISO-R/CF (Pa)<310-6VG・ISO-R/CF (Torr)<2.310-8最大气体…

产品详情

Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG50F

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG50F


吸气口法兰VG65/ISO-R63/CF63
排气速度N2 (L/s)51
N2(附加金属保护网) (L/s)49
H2 (L/s)12
最大压缩比N21.4×107
H25×102
极限压力VG・ISO-R/CF (Pa)<3×10-6
VG・ISO-R/CF (Torr)<2.3×10-8
最大气体流量※1N2 (sccm)80
启动时间(min) 1-1.5
停止时间(min)1-1.5
允许辅助压力(Pa/Torr)1330/10
推荐辅助泵(L/min)≧50
安装角度任意
重量VG･ISO-R/CF(kg)4.2/6