KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器 KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。 提高每个流…

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Product Detail

 KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器

 KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量控制器

5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。
虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。
它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。

· 提高每个流量范围的精度

· 适用于微流量（选项规格）

· 由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低

· 价格便宜

 

标准规格

流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式热绕组传感器
准确性±1％F.S.（20°C）
温度系数0.1％F.S./°C（15~35°C）
再现性±0.2%F.S.（20°C）内
可工作压力300kPa（G）以下
耐压980kPa（G）
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度0~50℃（精度保证温度15.35°C±0.1％FS /°C）
允许环境湿度10~90%RH（无结露）
气体接触材料车身SUS316L
隔膜Ni.Co
阀座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
电气连接Dsub 9针KFC　标准（符合SEMI标准）
流量设定
输入信号		0~5 VDC（最小负载电阻250kΩ以上）
所需电源+15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA
配件（车身尺寸）标准1/4 VCR等效
重量约800g