EBARA荏原 真空泵 EBT1100F

EBARA荏原   真空泵   EBT1100F

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产品介绍

• F-REX型号是一种安装在洁净室的CMP设备，用于化学和机械方式抛光晶圆表面。 它具有市场验证的高可

• 靠性和优异的工艺性能，并可根据所需规格配置多种灵活设备配置。 它采用双模块化系统，工艺腔室之间

• 无相互污染。 即使一个模块停止，也可以自动切换到另一个模块，且无需在维护或故障时停止设备，实现

• 高生产力。 此外，双模块化系统允许在一个单元中处理多个过程。 我们提供最适合大规模生产和实验开发

• 的仪器配置。