ULVAC爱发科 沉积设备 RMS50
ULVAC爱发科 沉积设备 RMS50
仕様
| 冷凍機 | RMS10 | RMS50 | RMS80T | RS150T | |
| 冷凍機システム | CRS10 | CRS50 | CRS80 | CRS150RT | |
| 冷凍能力 | 1段 | 35W / 77K | 85W / 77K | 130W / 77K | 165W / 77K |
| 到達温度 | 30K | 30K | 35K | 40K | |
| 冷却降下時間 | 30分 | 20分 | 18分 | 13分 | |
| 質量（冷凍機） | 10Kg | 13Kg | 15Kg | 20Kg | |
| メンテナンスインターバル | 16,000時間 | 20,000時間 | 10,000時間 | ||