ULVAC爱发科 沉积设备 PSE-15C21111
ULVAC爱发科 沉积设备 PSE-15C21111
规格
*备注1 提供输出位置切换功能、胶片厚度计自动功能和输出远程控制。 （不支持低功耗功能、自动温度功能和温度计功能）
电压 交流100V单相0.8kVA（50/60Hz）允许电压波动范围=±10% 负载电流 最大80A 控制信号 外部自动控制输入 DC-0~10V/0~100% 设置接收阻抗 1MΩ 电力控制系统 晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10%，输出波动±2%） 定格画面 30分钟 尺寸 480毫米（宽）×360毫米（深）×149毫米（高）（不含突出部和配件） 质量 约24公斤 选项
规范代码 PSE-15C11111 PSE-15C21111 PSE-15C31111 PSE-15C12211 PSE-15C22211 PSE-15C32211 输出位置切换函数 一点交换 两点交换 三点切换 一点交换 两点交换 三点切换 低功耗分接开关功能 没有 没有 没有 是的 是的 是的 沉积控制器的自动控制 没有 没有 没有 是的 是的 是的 带温度指示器的自动控制 没有 没有 没有 没有 没有 没有 输出遥控器 选项 选项 选项 选项 选项 选项 规范代码
物品 代码 规格 1. 系列 PSE- 用于电阻加热真空沉积设备的蒸发电源，面板机架式，数字显示 2. 功率容量→输出容量可选择。 8 输入：单相100伏，输出：80A（最大）0~10V 0.8kVA（最大）*注1 5 输入：单相200V，输出：150A（最大）0~10V 1.5kVA（最大） 3. 控制方法 C 自动恒定输出反馈控制（可选择恒流/恒定电压/恒定功率） 4. 输出位置切换功能
→可根据蒸发源的电极配置选择。1 无：1分 2 两点交换 3 三点切换 5. 低功耗抽头切换功能→
对有机物等小范围输出调整有效。1 没有 2 低功率（0~50A）/高功率（0~150A）变压器抽头开关 6. 自动控制功能
→此功能用于通过沉积控制器自动控制输出。1 无：手动调节 2 配备通过涂层厚度计实现的自动输出控制功能（固定式） 3 通过涂层厚度计或温度计实现自动输出控制功能（切换） 7. 内置温度指示器
控制器→此功能用于通过温度计实现自动输出控制。1 没有 2 是的（PID控制系统）*注释2 8. 输出遥控器→用于在监控真空室时调节输出 1 没有 2 是的（开关，上下操作）
*注2 自动控制功能[3]仅在选择时应用。