ULVAC爱发科 电源 MFU-20K
ULVAC爱发科 电源 MFU-20K
特色
可能在10kHz~100kHz *1范围内
最多可并联运行6台机组
结合我们的直流电源，可以轻松实现双阴极放电系统。
*1：振荡频率超过60 kHz限制输出功率、电压和电流。
规格
| 模型 | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 单相交流电100-240V |
| 输入容量 | 400VA或更低 | |
| 输入规范 | 振荡电压范围* | 0~-1000V |
| 最大输入电流* | 50A | |
| 最大输入功率* | 20千瓦 | |
| 输出规范 | 振荡频率* | 10k~100kHz（61kHz及以上需要输出限制） |
| 额定输出电压 | 1000伏（RMS） | |
| 额定输出电流 | 50A（RMS） | |
| 输出方法 | 对于双目标 | |
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | |
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 480×630×177（毫米） | |
| 质量 | 29公斤 | |
| 贴合规格 | CE，KC，SEMI F47，RoHS（欧洲） | |
*受操作模式和振荡频率限制。