ULVAC爱发科 电源 A2K-20K
ULVAC爱发科 电源 A2K-20K
特色
通过减少异常放电，可以施加高功率
减少电弧引起的基材损伤
可以连接到现有设备 *1
A2KH-25U：1kHz ~ 20kHz，A2K-20K/40K：输出范围为1kHz ~ 50kHz
多个A2K单元的输出脉冲同步是可能的 *2 *3
最多可并联运行6台（仅限同型号/仅限20K/40K）
应用：脉冲同步系统
当阴极在同一腔室内靠近且阴极相对或多个A2K单元放电干扰时，相位控制函数可用于使A2K反向脉冲同相，抑制放电干扰。 *3 *4
*1：可连接直流电源
*2：无法
通过混合A2KH-25U、A2K-20K和40K实现脉冲同步和并联操作 *3：A2KH-25U需要
外部同步单元（PHSM/PHSS）*4：A2K-20K/40K需要光同步线（脉冲链路线）
规格
| 模型 | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 单相AC90-110V | 单相交流电100-240V | |
| 输入容量 | 低于100VA | 400VA或更低 | ||
| 输入规范 | 振荡电压范围 | -100~-800伏 | ||
| 最大输入电流 | 25A | 50A | 100A | |
| 最大输入功率 | 15千瓦 | 20千瓦 | 40千瓦 | |
| 输出规范 | 振荡频率 | 1k~20kHz | 1k~50kHz | |
| 反向脉冲宽度 | 5μs/10μs 内部开关切换 | 3u~18μs | ||
| 振荡模式 | 连续模式 / 单脉冲模式 / 路径模式 | |||
| 输出方法 | 针对单一目标 | |||
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | |||
| 外部尺寸（W×D×H）无突出物 | 238×450×149（毫米） | 480×630×177（毫米） | ||
| 质量 | 16公斤 | 30公斤 | 45公斤 | |
| 贴合规格 | RoHS（欧洲） | CE，KC，SEMI F47，RoHS（欧洲） | ||