ULVAC爱发科 真空阀 VFR-500
ULVAC爱发科 真空阀 VFR-500
特色
ULVAC独特的机构
采用了独特的密封机构和无机械锁定机构的反压抵消机构，导致颗粒产生的滑动部件极其微小。结构
在开合操作和密封过程中几乎没有冲击（振动）。作为极佳的
可维护装置，阀壳可安装和拆卸而无需将阀门从泵上取下。阀体单元可通过从壳体拆卸
状态中拆除一颗螺栓来安装和拆卸。设计
无论安装位置如何 VFR系列的安装姿势为360度自由。
用途
大型显示器制造设备
OLED制造设备
真空设备的其他主阀和分流阀
规格
| 模型 | VFR-400 | VFR-500 | |
| 标称口径 | Φ400毫米 | Φ500mm | |
| 连接法兰（相当于JIS B2290） | VF400 | VF500 | |
| 闭合规范 | 2 位置 | ||
| 开合作用原理 | 气动驱动 | ||
| 开合操作时间（2档规格） | 低于8分 | 12岁以下组 | |
| 气门板密封性能 | 反压支撑 | ||
| 开导 | 50000升/秒 | 90000升/秒 | |
| 工作压力范围 | 1.0×10-5Pa~0.12MPa（abs） | ||
| 烘焙耐受温度（静止状态） | 阀体温度：120°C或以下 气缸温度：80°C或以下 | ||
| 工作环境温度 | 10~80°C | ||
| 工作流体温度 | 10~80°C | ||
| 气缸供气压 | 0.5~0.7MPaG | ||
| 气动供弹口径 | Φ8管件 | ||
| 维护周期 | 十万次 | ||
| 安装位置 | 免费 | ||
| 主要部件材料 | 阀体：AC4CH-T6 气门板：AC4CH-T6 | ||
| 密封件材料 | 真空侧：氟橡胶 | ||
| 油画与油画 | Z300 润滑脂 | ||
| 总质量 | 98公斤 | 155公斤 | |
| 面之间的维度 | 150毫米 | 170毫米 | |