ULVAC爱发科 真空阀 VLH-SB065JH
ULVAC爱发科 真空阀 VLH-SB065JH
特色
SUS角阀可烘烤至150°C。
连接法兰有四种类型可供选择：JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。
驱动系统有双作用和单作用两种类型。单作用式只需一条气动管线。
材料为不锈钢。（不过，VLP-U是铁制的，VAP、VAH和VFR是铝制的。） ）
规格
| 模型 | VLP-U |
| 阀板允许的最大压差（正压时）MPa | 0.10 |
| 阀板允许的最大反压差 MPa | 我受不了了 |
| 阀门开启时的最大允许压差（正压）kPa | 1.0 |
| 阀门开启时（反压时）最大允许差压 kPa | 我受不了了 |
| 阀门板密封系统 | 〇 戒指 |
| 轴密封系统 | 〇 戒指 |
| 传动系统 | 双作用气缸 |
| 泄漏体积（外部）*1Pa・m3/s | ≦1.3E-7 |
| 泄漏体积（内部）*1Pa・m3/s | ≦1.3E-7 |
| 工作压力范围（绝对压力）Pa | 大气压 ~1.0E-5 |
| 烘焙耐受温度（静止状态）*2°C | 60 |
| 工作环境温度 °C | 5~40 |
| 流体温度 °C | 5~40 |
| 制热和制热速率 °C/h | ≦30 |
| 使用环境氛围 | 非腐蚀性大气 |
| 流体使用 | 非腐蚀性流体 |
| 气缸供气压 MPaG | 0.40~0.55 |
| 保证运行时间*3 | 100,000 |
| 驾驶位置 | 垂直方向 |
| 切换传感器 | 可选（单独出售） |
| 真空侧的主要部件材料 | SS400镍镀层 |
| 大气主要部件材料 | SS400 镍镀层 + 丙烯酸涂层 |
| 密封部件材料（真空侧） | 丁腈橡胶 |
| 润滑脂和油脂（真空侧） | 高纯度精炼石蜡油 |
| 扩张器安装段 | 没有 |
| RoHS | 反响 |
■详细规格 VLP-U
| 连结法兰 | VF500 |
| 开导*4 L/s | 9,198 |
| 气缸体积 CC | 9,040 |
| 气动供弹口径 | Rc3/4 |
| 开门和关闭操作时间（开启）*5 秒数 | 7.0±0.5 |
| 开闭运行时间（关闭）*5 秒数 | 7.0±0.5 |
| 总质量 kg | 310 |
| 整体高度尺寸：A mm | 1,530 |
| 面间尺寸 B 毫米 | 380 |
*1 泄漏量不包括零环的传输。 此外，对于环形轴封条，开闭操作过程中的外部泄漏量不受规定约束。
*2 烘焙时不要开合。
*3 详情请参阅说明书。
*4 电导率以分子流量、20°C和空气计算。
*5 使用速度控制器调整至上表中指定的数值。