ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-4
ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-4
特色
新的测量方法显著提升了速率稳定性。
能力（CI值）测量提升了晶体板检测异常的能力。
其出色的薄膜厚度和速率分辨率（0.0018Å @5MHz）也非常适合低沉积率控制。
它最多可同时控制8个元素。 （添加选项时）
该通信方式支持以太网和RS-232C。
主机上存储的各种日志数据可以以CSV格式传输到USB中。
用途
金属和光学薄膜沉积过程中的厚度和速率控制。
规格
| 频率 | 测量范围 | 4.00~3.00MHz@4MHz 5.00~3.50MHz@5MHz 6.00~4.50MHz@6MHz |
| 测量分辨率 | 1 MHz | |
| 结局 | 1 MHz | |
| 沉积速率 | 测量范围*1 | 0.000~999.9Å/s （0~99.99nm/s） |
| 测量分辨率*2 | 0.0028Å/s @4MHz 0.0018Å/s @5MHz 0.0012Å/s @6MHz | |
| 显示分辨率*1 | 0.001Å/s | |
| 薄膜厚度 | 测量范围*1 | 0.000~9999kÅ （0~999.9μm） |
| 测量分辨率*2 | 0.0028Å @4MHz 0.0018Å @5MHz 0.0012Å @6MHz | |
| 显示分辨率*1 | 0.001kÅ | |
| 支持的传感器频率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安装传感器数量（单一） | 2（最大8点，IF卡：2分/×4张牌） | |
| 可安装的传感器数量（多枚） | 2（最大8点，IF卡：2分/×4张牌） | |
| 采样率 | 100毫秒 | |
| 车库项目数量 | 999 | |
| 流程项目数量 | 99 | |
| 数字输入点 | 14分（MAX56，DIO卡：4分×14分） | |
| 数字输出点 | 8（MAX32，DIO卡：4×8分） | |
| 模拟输出点的数量 | 2（MAX16，IF卡：2分/片×4张卡 + AO卡车：8分/片×1张卡） | |
| 模拟输出范围 | -10~+10V | |
| 沟通方法 | 局域网（以太网）（1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB2.0 Type-B | |
| 尺寸（宽度×深度×高度） | CRTM-R1：约480×约320×约130毫米 CTM（-D） 选项：约80×约152×约53毫米 | |
| 质量 kg | CRTM-R1：5.3公斤（最大重量：含选装5.8公斤） CTM（-D） 选配：0.6公斤 | |
| 公用事业 | 交流 100~240V±10%，50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150W | |
| 兼容保险丝 | 250V2.5A（2张5×20mm） | |
| IP保护级别 | IP20 | |
| 过电压类别 | 第二类。 | |
| 高度条件 | 海拔2000米以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 使用环境 | 温度：5~40°C ，湿度：相对湿度20~85%（无冷凝水）， 仅限室内 | |
| 存储环境 | 温度 -10~60°C（无热水，无凝露） 湿度 20~85%相对湿度（无冷凝） | |
| 热身时间 | 大约30分钟 | |
| 贴合规格 | CE | |
*1：当工具=100和密度=1时的数值被设置。
*2：频率分辨率由工具=100和密度=1换算。