ULVAC爱发科   高速光谱椭圆仪   UNECS-1500M

ULVAC爱发科   高速光谱椭圆仪   UNECS-1500M


特色

  • 高速测量：
    独特的快照方法提供最高20毫秒的高速测量。

  • 可见光光谱支持：
    波长范围可选择标准（530nm~750nm）和可见光光谱（380nm~760nm）。

  • 紧凑型传感器单元：
    投影和接收传感器仅由光学元件组成，无旋转机构，极为轻便紧凑，无需定期维护。

  • 便携型：
    轻便紧凑，便于移动和携带。

用途

  • 测量透明或半透明薄膜（如氧化物、氮化物、抗蚀剂、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰减系数

规格

波长范围530~750nm，380~760nm（任一选择）
斑点直径Φ1mm，Φ0.3mm（任一选项）
入射角70°凝视
薄膜厚度的可重复性1σ = 0.1nm
胶片厚度范围1nm~2μm
测量时间光信号接收：20毫秒 ~ 3000毫秒 操作时间：300毫秒
舞台固定式（Φ150mm或以下，可拆卸）
控制电脑笔记本类型（含操作和分析软件）
设备配置测量单元（带固定级）、控制盒、光源单元
操作电脑（笔记本型）、说明书（CD）