ULVAC爱发科 气体监测仪 Qulee RGM2-302
ULVAC爱发科 气体监测仪 Qulee RGM2-302
特色
测量质量数范围 1~200 amu
反应性过程中长时间的稳定测量
通信接口，以太网
采用
带有磁场的克劳德离子源，软电离减少气体解离，防止高灵敏度电离室中热反应导致的分解和吸附。紧凑流路控制阀
缩短工艺腔体到离子源的距离，实现快速响应分解10-6 测量范围涵盖广泛压力范围（取决于孔口选择）
无PC测量
一键功能（对所有人来说都很简单，操作不复杂）
连接到传感器单元时，高温烘烤温度可达120°C
离子源，配备可追溯功能的次级电子倍增管预防性维护分析管（专利申请中）
氦气泄漏测试、空气泄漏测试、积聚测试可能
软件为标准（兼容Windows 8/10/11）
用途
CVD、ALD和蚀刻设备
过程中对反应性气体的监测
蚀刻和清洗过程的端点监控
残余气体测量
泄漏测试
规格
| 模型 | RGM2-202 | RGM2-302 |
| 传感器 | ||
| 质量分离方法 | 四极杆质谱仪 | |
| 质量数范围 | 1~200 AMU | 1~300 AMU |
| 结局 | M/△M=1M（10%P.H.） | |
| 探测器 | SEM/法拉第杯 | |
| 灵敏度 | 1×10-3 A/Pa | |
| 最小检测分压 | 1×10-10 爸 | |
| 离子源 | 带磁体的闭合离子源 | |
| 丝材 | V形Ir/Y2O3 1件 | |
| 电离电压 | 20~70 电子伏特 | |
| 发射电流 | 10μA | |
| 放大器范围 | 1×10-5~1×10-12 A | |
| 烘焙温度 | 120°C | |
| 差速器排气系统 | ||
| 气体进气阀 | 带孔口的流路控制阀 | |
| 最大采样压力 | 13kPa | |
| 差速器排气系统 | 中间排气，TMP加排气 | |
| 涡轮分子泵 | 67升/秒：N2 | |
| 前泵 | DIS090 | |
| 皮拉尼真空计 | SW1-1 | |
| 电离真空计 | GI-M2 | |
| 质量 | 排气系统：57公斤 / 控制系统：38公斤 | |
| 公用事业 | ||
| 供电电压 | AC100V 15A | |
| 压缩空气 | 干式N2：0.4~0.7MPa（Φ6一触接头） | |
| 控制单元 | ||
| 一键功能 | 是的，He / H2O / N2 / O2 / 任何气体 | |
| 外部输入/输出 | 2个模拟输入（0-10V） | |
| 2个设定点输出（异常，警告） | ||
| 外部互锁（压力保护） | ||
| 其他 | ||
| 烘焙加热器 | 磁带加热器 | |
| 高度调节支架 | 标准 | |
| 传感器部分1控制部分连接电缆 | 约5米 | |
| 界面 | 以太网 | |
| 软件 | Qulee QCS 版本4.2及以上版本（兼容Windows 8/10/11） | |
| 选项 | PC | |