ULVAC爱发科 气体监测仪 HGM2-202
ULVAC爱发科 气体监测仪 HGM2-202
特色
测量质量数范围 1~200 amu
适合多种研发应用 作为高端功能，最高灵敏
度 2.5×10-6A/Pa通信接口
以太网通信集成显示部件的设计可以在不
使用电脑的情况下进行测量操作简便：一键功能（对所有人来说都很简单，无需复杂操作）
兼容烘焙 连接
传感器单元时高温烘烤，最高可达250°C（传感器单元间隔状态：300°C）配备脱气功能
，采用电子激波脱附方法维护：简单
更换丝材、离子源和次级电子倍增管预防性维护功能的增强
离子源和次级电子倍增管的预防性维护 分析管可追溯功能的
安装（专利号5016031）增强泄漏测试能力
：氦气泄漏测试、空气泄漏测试和积聚测试均可实现总压力测量
可能的总压力测量（电离真空计函数）Qulee QCS 软件
为标准（兼容 Windows 8/10/11）符合
规范标准CE标准
用途
研发，如温度脱附气体分析
超高真空和超高真空排气设备的残余气体分析等。
气体中微量杂质的测量
与太阳能电池相关的研发
有机分析
环境测量
规格
| 模型 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 质量分离方法 | 四极杆质谱仪 | |||
| 质量数范围 | 1 ~ 200 AMU | 1 ~ 300 AMU | ||
| 结局 | M/ ΔM=1M（10% P.H.） | |||
| 探测器 | 法拉第杯 | 次级电子倍增管 | 法拉第杯 | 次级电子倍增管 |
| 灵敏度 | 2.5×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa | 2.0×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa |
| 最小检测分压 | 10-9公共广播台 | 10-13公共广播台 | 10-9公共广播台 | 10-13公共广播台 |
| 最大规格压力 | 1×10-2爸 | |||
| 丝材 | lr/Y2O32件 | |||
| 电离电压 | 25 ~ 70 eV（默认：70 eV） | |||
| 发射电流 | 0.1mA/0.5mA/1.0mA（默认为0.5mA） | |||
| 德加 | 电子冲击脱离系统 330V，5mA | |||
| 总压力测量函数 | 是 / 10-2 ~ 10-5爸 | |||
| 一键功能 | 是的/氦/H2O/N2/O2/任何气体 | |||
| 一键泄漏检测功能 | 是的 | |||
| 供电电压 | DC24V±10% 50W | |||
| 质量 （传感器单元/分析管） | 2.4公斤 / 0.81公斤 | |||
| 连接传感器单元时的最大烘焙温度 | 250°C | |||
| 最大烘焙温度 （传感器单元安装和拆卸时） | 300°C | |||
| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C | |||
| 工作湿度范围 | 15 ~ 80%（但无冷凝水） | |||
| IP保护级别 | IP30（传感器单元） | |||
| 电源连接器 | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | |||
| 通信接口 | 以太网规范 | |||
| 外部输入/输出连接器 | D-sub 15针/M2.6螺丝（可选） | |||
| 通信连接器 | RJ45 | |||
| 外部输入/输出信号 | 模拟输入（0-10V）×2，外部互锁输入（压力保护）×1，错误输出×1（FIL，SEM，射频异常），部分电压设定点输出×2（异常，警告），全电压设定点输出×1 | |||
| 软件 | Qulee QCS 版本4.2及以上版本（兼容Windows 8/10/11） | |||
| 标准配件 | 电源连接器，局域网线（3米），软件（安装光盘），说明书（光盘） | |||
| 期权（参见Qulee期权目录） | 局域网线（10、15、20、30、50米）、交流适配器、USB-LAN适配器、切换集线器（8或16端口）、输入/输出接口、外套加热器、携带包 | |||
| 贴合规格 | CE | |||
*如果你想配合交流电源使用，请务必准备交流适配器（参见Qulee选项目录）
选项
| 分析管 | HGM-AN202 | 对于HGM（2）-202/302 |
| 耗材/维修套件 | QFL-001 | 对于HGM（2）-202/302 |
| 离子源 | QIS-001 | 对于HGM（2）-202/302 |
| 次级电子倍增管 | QEM-001 | HGM（2）-202/302，RGM（2）-202/302 |