ULVAC爱发科 气体监测仪 BGM2-102
ULVAC爱发科 气体监测仪 BGM2-102
特色
具有优异性价比的通用规格
测量质量数范围1~100 amu
集成显示部分设计：测量可在无计算机的情况下完成
操作简便：一键功能：对所有人来说都很简单。无需复杂的操作
增强的泄漏测试能力
可测量总压力
Qulee QCS 软件作为标准配置
符合CE标准
用途
沉积设备（如真空沉积设备和溅射设备）的残余气体分析
高真空排气设备的残余气体分析。
冷冻干燥机残留气体分析。
研发中的各种气体分析
规格
分辨率 m/△M=1M（10% P.H.）
| 模型 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 质量分离方法 | 四极杆质谱仪 | |||
| 质量数范围 | 1~100 amu | 1~200 AMU | 1~100 amu | 1~200 AMU |
| 探测器 | 法拉第杯 | 次级电子倍增器法拉第 杯 | ||
| 灵敏度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小检测分压 | 10-8爸 | 10-12爸 | ||
| 最大工作压力 | 1x10-2爸 | |||
| 总压力测量函数 | 是的 | |||
| 一键功能 | 是的/He/H2O/N2/O2/任何气体 | |||
| 一键 泄漏检测功能 | 是的 | |||
| 供电电压 | DC24V±10% 50W | |||
| 最大烘焙 温度 （传感器连接时） | 120°C | |||
| 最大烘烤 温度 （传感器单元拆卸时） | 250°C | |||
| 工作温度范围 | 10~40°C | |||
| 软件 | Qulee QCS 版本4.2及以上版本（兼容Windows 8/10/11） | |||
| 贴合规格 | CE | |||
选项
| 分析管 | BGM-AN101/201 | 背景音乐 （2）-101/201 |
| 分析管 | BGM-AN102/202 | 背景音乐（2）-102/202 |
| 离子源 | BGM-IS01 | 背景音乐（2）/REGA 共享 |
| 次级电子倍增管 | BGM-EM01 | 对于BGM-AN102/102 |