ULVAC爱发科 气体监测仪 CGM2-101
ULVAC爱发科 气体监测仪 CGM2-101
特色
非常适合溅射工艺
空气泄漏监测
残留水分管理
过程监控无需差速器排气系统：测量值低于1 Pa，节省空间
具备高度灵敏度泄漏测试（CGM2-052）及完整泄漏测试能力
可测量总压力
集成显示部分设计：测量可在无计算机的情况下完成
易用——一键功能：对所有人来说都很简单，无需复杂操作
Qulee QCS 软件作为标准配置
符合CE标准
用途
用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控及杂质（H2O）管理
用于溅射设备的泄漏测试
规格
结局
M/△M=1M（10% P.H.）
| 模型 | CGM2-051 | CGM2-101 | CGM2-052 | CGM2-102 |
| 质量分离方法 | 四极杆质谱仪 | |||
| 质量数范围 | 1~50 amu | 1~100 amu | 1~50 amu | 1~100 amu |
| 探测器 | 法拉第杯 | 次级电子倍增器 / 法拉第杯 | ||
| 灵敏度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小检测分压 | 1x10-7爸 | 1x10-10爸 | ||
| 最大工作压力 | 2PA | 2Pa（FC）1x10-2Pa（SEM） | ||
| 线性 | 1Pa | |||
| 总压力测量函数 | 是的 | |||
| 脱气函数 | 是的 / 电子电击脱离系统，300V / 5mA | |||
| 一键泄漏检测功能 | 是的 / 他 / H2O / N2 / O2 / 任何气体 | |||
| 供电电压 | DC24V±10% 50W | |||
| 最大烘焙温度 （传感器连接时） | 120°C | |||
| 最大烘烤温度 （传感器单元拆卸时） | 250°C | |||
| 工作温度范围 | 10~40°C | |||
| 界面 | 以太网 | |||
| 软件 | 兼容Qulee QCS Ver.4.2及更高版本（Windows 8/10/11） | |||
| 贴合规格 | CE | |||
选项
| 分析管 | CGM-AN51 | CGM（2）-051/101 共享 |
| 分析管 | CGM-AN52 | CGM（2）-052/102 共享 |
| 离子源 | CGM-IS01 | CGM（2）：所有型号通用 |
| 次级电子倍增管 | CGM-EM01 | CGM（2）-052/102 共享 |