ULVAC爱发科 真空计 CCMT-10D
ULVAC爱发科 真空计 CCMT-10D
特色
长期稳定性
由于采用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性
内置温度补偿电路类型
新结构保护传感器免受污垢侵害
按钮0点调节
用途
用于沉积设备过程中的压力监测仪
用于真空排气系统的压力监测器,如真空熔化炉和真空热处理炉
用于各种制造设备的压力监测器,如太阳能电池
规格
| 模型 | CCMT-D | ||
| 全尺度测量 | CCMT-1000D | 133kPa F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa 法式冷流 | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa F.S. | ||
| CCMT-1D | 133PA F.S. | ||
| 结局 | 全壳时0.003% | ||
| 准确性 *1 | 温度系数± ±指示值的0.2% | ||
| 温度系数 | 零电压 | 0.015% F.S. / °C | |
| 跨度电压 | 0.01% R / °C | ||
| 工作温度范围 | 10~50°C | ||
| 响应速度 | 不到30毫秒 | ||
| 气体接触部件材料 | Al2O3、Vacon70*2、SUS316*3、玻璃焊锡、AgTiCu硬焊接 | ||
| 输入电源 | DC14~30V,1W | ||
| 功率输出 | 直流0~10VF.S | ||
| 质量 | 329克(直径12.7,标准型) | ||
| 尺寸 | 直径55毫米×117毫米(直径12.7毫米,标准型) | ||
| 配件 | 标准:直径12.7 管道 选项:NW16KF,Cajon 8VCR | ||
| 温度补偿 | 内置温度补偿电路 | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15-pin 公柱 | ||
*1:通电2小时后,工作环境温度为25°C,零点调整
*2:28%镍,23%铌,49%铁
*3:18% 铬,10% 镍,3% 钾,69% 铁