ULVAC爱发科 真空计 SC1
ULVAC爱发科 真空计 SC1
特色
测量元件与测量电路的集成结构
模拟和设定点输出
独立输出、伪对数输出和设定点输出（显示单元）
提供DIN标准尺寸48 x 96毫米（显示单元）
用途
用于包括半导体和电子元件在内的各种制造设备的过程控制
用于各种工业设备的过程控制，如炉子
用于多种具有多个工艺室的制造设备的过程控制，如直线型和片送类型。
规格
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 自适应测量 | C-21、23、24、25 | ||
| 压力范围测量 | 1.0×10-5 ~ 1.0 Pa | ||
| 测量精度 | +100%，-50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1） | ||
| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C | ||
| 测量输出 | 非线性输出：DC0V ~ 10V（高压关闭时为10V） | ||
| SETPOINT1/2可调输出 | 非线性输出：DC0~10V | ||
| 控制输入信号 | 高压开关 | ||
| 输出信号 | 开集电极，负逻辑 | ||
| 控制输出信号 | 出院确认/设定点1/2 | ||
| LED指示灯 | 功率、高压、压力保护、设定点1/2 | ||
| 电源 | DC24V±2V、150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub-15 销（M2.6 螺丝） | ||
| 体重 | 430克（不含测量仪器） | ||
| 配件 | 1 种类输入/输出连接器 | ||
| 1本快速手册 |
* IO和模拟GND，功率GND并非隔离。