ULVAC爱发科 真空计 SP1
ULVAC爱发科 真空计 SP1
特色
节省成本和空间的换能器类型
耗材材料由铂制成，具有优异的耐腐蚀性。
2个设定点输出测量设备输出DC0~5V（非线性输出）
电源电压：DC24V 输入
用途
用于包括半导体和电子元件在内的各种制造设备低真空区的过程控制
用于各种工业设备（如炉子）低真空范围内的过程控制
用于多种制造设备低真空范围内的过程控制，这些设备拥有多个工艺腔室，如直列式和片送式
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 自适应测量 | WP-01，WP-02，WP-03，WP-16 |
测量精度 | ±15%（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30%（10 Pa ~1000 Pa） | |
| ±50%（0.4 Pa ~3000 Pa） | |
| 工作温度范围 | 10~40°C |
| 采样时间 | 50毫秒5移动平均处理 |
测量输出 | 非线性输出：DC0-5V（最大10V） |
| （更新时间）50毫秒 | |
| （分辨率）10 mV | |
| 设定点1/2调整输出 | 非线性输出：直流0-5伏（最大10伏） |
| 控制输出信号 | 开集电极，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点1/2 | |
| LED指示灯 | 功率、误差、设定点 1/2 |
| 供电电压 | DC24V±2V，最大90mA。 |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 体重 | 190克（不含测量仪器） |
配件 | 1 个输入/输出连接器 |
| 1本快速手册 |
IO和模拟GND、功率GND并非隔离。