ULVAC爱发科 真空泵 ULK-10A
ULVAC爱发科 真空泵 ULK-10A
特色
它是一款强力的高真空泵，没有机械滑动部件。
选择两种油和加热器，可以获得理想的泵送速度和压力。
它配备了防止液压油流向辅助泵侧的机构。
用途
・沉积设备
・高真空实验设备
规格
| 模型 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||||
| 排气速度 | 550升/秒 | 500升/秒 | 1200升/秒 | 1100升/秒 | 3400升/秒 | 3000升/秒 | 5400升/秒 | 4900升/秒 | |||
| 达到压力 *1 | <2.6×10-5 爸 | <2.6×10-6 爸 | <2.6×10-5 爸 | <2.6×10-6 爸 | <2.6×10-5 爸 | <2.6×10-6 爸 | <2.6×10-5 爸 | <2.6×10-6 爸 | |||
| 临界背压 | 40 Pa | 60帕 | 40 Pa | 60帕 | 35 Pa | 40 Pa | 30帕 | 30帕 | |||
| 工作开始时间 | 9分钟 | 8.5分钟 | 16.5分钟 | 15分钟 | 20分钟 | 20分钟 | 25分钟 | 25分钟 | |||
| 液压油 *2 | ULVOIL D-11，SX | ULVOIL D-31，F-5 | ULVOIL D-11，SX | ULVOIL D-31，F-5 | ULVOIL D-11，SX | ULVOIL D-31，F-5 | ULVOIL D-11，SX | ULVOIL D-31，F-5 | |||
| 油量 | 0.15升 | 0.35升 | 0.8升 | 1.5升 | |||||||
| 水温 | 19°C ~ 25°C | ||||||||||
| 冷却水处理 （规模×系统数量） | RC 1/4英寸 | RC 1/4英寸 | Rc 3/8” | Rc 3/8” | |||||||
| 冷却水体积 | 1升/分钟 | 1升/分钟 | 1.5升/分钟 | 2.5 升/分钟 | 3升/分钟 | 2.5 升/分钟 | 3.5升/分钟 | ||||
| 电压规格 | 200V / 1Φ | ||||||||||
| 功率需求 | 0.55千瓦 | 0.73千瓦 | 0.9千瓦 | 1.2千瓦 | 2千瓦 | 2.4千瓦 | 2.25千瓦 | 2.4千瓦 | |||
| 加热器类型 | 热板 | 热板 | 热板 | 热板 | |||||||
| 推荐辅助泵 *3 | VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 | VD30C / VD40C / VD60C | VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030 | VS1501 / VS2401 / PKS-030 | |||||||
| 外径尺寸 *4 | A | 175毫米 | 250毫米 | 340毫米 | 340毫米 | ||||||
| B | 150毫米 | 180毫米 | 240毫米 | 240毫米 | |||||||
| H | 346毫米 | 454毫米 | 650毫米 | 670毫米 | |||||||
| 进气口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||||
| 排气口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||||
| 质量 | 7.5公斤 | 13.5公斤 | 47公斤 | 56公斤 | |||||||
| 油位计 | 没有 | 没有 | 视窗 | 视窗 | |||||||
| 恒温器 选项 | 是的 | 是的 | 是的 | 是的 | |||||||
| 恒温 器设定温度 | 250°C | 250°C | 180°C | 180°C | |||||||
*1 当冷却水使用电离真空计达到20°C时，极限压力。
*2 D-11和SX是基于碳氢化合物的通用油，D-31和F-5是具有高耐热性的硅基扩散泵油。
*3 辅助泵的选择是根据扩散泵的最大流量设计的，但一般来说，考虑粗糙时间后，适合使用比此处展示的更大的机械助力泵和油旋转真空泵。
*4 其他尺寸请查看我们网站上发布的CAD数据（2D图纸、3D图纸）。