ULVAC爱发科   真空泵  UTM-MI

ULVAC爱发科   真空泵  UTM-MI

特色

  • 泵体与控制器集成
    ，无需繁琐的接线和旋转操作。

  • 自由安装方向 无限
    安装方向允许设备设计更大自由度。

  • 该系列包括排气速度为1000L/s~3000L/s级别。

  • 广面积、高流量光过程设计

  • 可变
    速度为25~100%。泵速可变，便于调节腔室压力。

  • 高耐久性与安全性 它已通过多项安全确认测试，如
    大气侵入测试和着陆测试。

用途

  • 各类设备的
    真空主排气系统 - 半导体制造设备
    - 沉积设备
    - 溅射设备
    - 分析仪设备、实验室设备等
    - 研发设备

  • 光过程的主排气系统，无副作用产物。

  • 用油扩散泵替换设备。

  • 其他高真空排气应用

规格

模型UTM1200AUTM1600AUTM2300AUTM3400A
进气口VG150ISO160FVG200VG250ISO200FISO250FVG250ISO250FVG300VG350ISO320F
排气口KF40
达到压力 *110-7 爸
排气速度 *2×3N21030 L/s1400升/秒2100升/秒3200升/秒
阿尔980升/秒1330升/秒2000升/秒3100升/秒
H2660升/秒750升/秒1380 L/s2100升/秒
压缩比N22×1081×108 上图1×109 上图
他7×1035×1031×105
H28×1029×1026×103
最大入口压力 *426 Pa4.5 帕7 Pa
最大排气压力 *4266 Pa200帕270帕
转速37200分钟-133700分-127600分钟-1
变速函数操作速度可调节在泵指定转速的25% ~ 100%之间。 （以0.1%为单位设置）
启动时间分差在8分以内分差在9分以内分差在16分以内
安装方向全能安装
表面处理 *5没有
外部控制远程

接口		D-sub25针母接点输入/输出D-sub37针母接点输入/输出
串行
接口
特殊圆形连接器 RS232C/RS485D-sub9针公头RS232C/RS485
控制器创作泵体集成（内置于底部）
电源单相交流电200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
最大所需功率0.75kVA1.2kVA
冷却方法水冷
冷却水 *6流3~4 L/min
水压0.2 ~ 0.4 兆波加格
噪音57 dB（A）60 dB（A）
质量43公斤41公斤56公斤94公斤
推荐辅助泵 *7超过600升/分钟超过1500升/分钟
贴合规格CE、TUVus
标准配件O型圈用于进气口（仅限VG）、排气口防尘盖、遥控器连接器、使用说明书（CD-ROM）
可选规格交流电缆交流连接器/交流电缆（5米/10米/15米/20米）
用于泵固定的特殊螺栓M10/M12
你需要专用螺栓来固定泵吗？到（M10）*8别 *8
可选产品导气口适配器：KF10
*1 表示顺序。
*2 没有保护网的数值。
*3 UTM2300A 和 UTM3400A 是计算出的数值。
*4 最大进气压力和最大排气压力的要求不能同时满足。
*5 不要流动反应性气体或腐蚀性气体。 如需其他气体，请联系我们。
*6 不要浓缩。
*7 吸吮时30 SCCM。
*8 螺栓强度和固定方法有不同的条件。 详情请参阅规范。