ULVAC爱发科 真空泵 UTM70B
ULVAC爱发科 真空泵 UTM70B
特色
安装方向：
安装方向没有限制，这扩大了器件设计的自由度。带有
车载控制器的控制器安装在涡轮车身上，这对节省线路和排气系统进行小型化非常有效。高压缩比和高出流压力
压缩比都较高，且可在高背压下运行，从而减少辅助泵的体积。有三种类型的法兰
：有三种进气法兰：VG、ICF和ISO-K。它旨在减少碳氢化合物回流，不仅在清洁真空
运行时，也在泵停止运行时使用。
用途
分析设备、研发设备、实验室设备等的主排气系统。
主排气系统，如沉积设备和溅射设备
轻质气体如氢和氦的主排气系统
规格
| 模型 | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵 | 冷却方法 | 自然风冷 | 强制空气冷却 | 自然风冷 | 强制空气冷却 | ||
| 法兰口径 | 进气口 *1 | VG65，ICF114，ISO063-K | VG100，ICF152，ISO100-K | ||||
| 排气口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排气速度 （无保护网） | N2 | 70升/秒 | 280升/秒 | ||||
| 他 | 60升/秒 | 270升/秒 | |||||
| H2 | 49升/秒 | 220升/秒 | |||||
| 达到压力 *2 | 烘焙后 | - *3 | 10-8爸 | - *3 | 10-8爸 | ||
| 烘焙之前 | 10-6爸 | 10-6爸 | 10-6爸 | ||||
| 最大压缩比 | N2 ： >1×109， 他 ： 4×107， H2 ： 4×105 | N2 ： >1×109，他：7×106, H2 ： 1×105 | |||||
| 最大入口压力 *4， *5， *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排气压力 *4， *5， *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 连续运行 的最大流量 *8 | 没有气体 排气 | N2 | 15sccm *9 | 40SCCM *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 没有气体 排气 | 阿尔 | - | 10SCCM *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 气体 净化可用 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推荐辅助泵 （10SCCM吸力）*11 | 超过60升/分钟 | 超过120升/分钟 | |||||
| 质量 | VG：3.3kg，ISF：3.0kg，ISO：5.0kg | 6.0公斤 / 9.0公斤 | 6.3公斤 / 9.3公斤 | ||||
| 转速 | 87000转/分钟 | 60000转 | |||||
| 启动时间（最高80%） （24伏直流背压5Pa或更低时） | 1.7分 | 3.5分 | |||||
| 表面处理 *12 | 没有 | ||||||
| 骑行方向 | 全能 | ||||||
| 噪音 *13 | 48dB（A）或更低 | 50dB（A）或更低 | |||||
| 电源规格 | 输入电源 | DC24V ±5%，120W | DC24V ±5%，180W | ||||
| 接触输入/输出 | 远程（D-sub 15针公头）4个数字输入和输出，1个模拟输出 | ||||||
| 串行通信 | RS-485（D-sub 15针公头，与REMOTE共用） | ||||||
| LED指示灯 | 电源，正常，警报 | ||||||
| 交换机 | 开始/停止，重置 | ||||||
| 变速 | 转速可调整为泵默认数值的25%~100%（设置为0.1%增量） | ||||||
| 异常检测 | 检测警报和警告 | ||||||
| 保护行动 | 警报，警告显示 | ||||||
| 标准配件 | 说明书（CD-R），防护网（仅限VG，ICF） ISO法兰内置于垫片中）， 垫片（用于进气），防尘盖（用于进气、排气、连接器）各1个 | ||||||
| 自适应标准 | CE、TUVus | ||||||
| *1 | 订购时请选择进气法兰。 |
| *2 | 使用两级辅助泵时 |
| *3 | 只有在使用ICF法兰强制空气冷却时才能进行烘烤。 |
| *4 | 当环境温度为25°C时，这是该值。 容差会随着环境温度的变化而变化。 |
| *5 | 最大进气压力和排气压力不能同时达到。 |
| *6 | 这是可以连续排出的最大入口压力。 |
| *7 | 这是当排气口排气流量为0 sccm时，排气口可连续操作的最大压力。 |
| *8 | 当环境温度为5~25°C时，该值为该值。 用气体净化剂配合N2气体25 sccm。 |
| *9 | 这是使用辅助泵时的60升/分钟。 |
| *10 | 这是使用辅助泵时的120升/分钟。 |
| *11 | 如果气体体积较大，选择排气口压力低于最大排气口压力的辅助泵。 |
| *12 | 不要排出反应性、腐蚀性或含氮气体。 如需更多信息，请联系我们。 |
| *13 | ISO法兰类型。 根据我们的测量方法。 |