ULVAC爱发科 真空泵 UTM1500A-MS
ULVAC爱发科 真空泵 UTM1500A-MS
特色
泵体和控制器部分是分开
的，控制器部分可以监控运行状态并支持各种通信标准。自由安装方向 无限
安装方向允许设备设计更大自由度。排气速度：300L/s ~ 4000L/s 组别
可变
速度为25~100%。泵速可变，便于调节腔室压力。高耐久性与安全性 它已通过多项安全确认测试，如
大气侵入测试和着陆测试。
用途
各类设备的
真空主排气系统 - 半导体制造设备
- 沉积设备
- 溅射设备
- 分析仪设备、实验室设备等
- 研发设备光过程的主排气系统，无副作用产物。
其他高真空排气应用
规格
表1
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方法 | 水冷 | 空气冷却 | 水冷 | 空气冷却 | 水冷 | 空气冷却 | 水冷 | 空气冷却 | ||
| 达到压力 *1 | 爸 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 排气速度 *2 | N2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 阿尔 | L/s | ー | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩比 | N2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口压力 *3 | 爸 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排气口压力 *3 | 爸 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 转速 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 全能安装 | |||||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | |||||||||
| 冷却水 | 流 | L/min | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
| 水压 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
| 噪音 | dB（A） | 60 | ||||||||
| 质量 | KG | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐的辅助泵 | 超过200升/分钟 | 超过500升/分钟 | ||||||||
| 控制器 | 创作 | 分离 | ||||||||
| 输入电源 | 单相交流电200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率需求 | kVA | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 变速函数 | 操作速度可调整为泵指定转速的25% ~ 100%（设置为0.1%增量） | |||||||||
| 外部控制 | 接触输入/输出 | |||||||||
| RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 质量 | KG | 8 | ||||||||
*1：表示顺序。
*2：无保护网的价值。
*3：最大进气压力和最大排气压力的要求不能同时满足。
表2
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 进气口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排气口 | KF40 | ||||||
| 冷却方法 | 水冷 | ||||||
| 达到压力 *1 | 爸 | 10-7 | |||||
| 排气速度 *2 | N2 | L/s | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 阿尔 | L/s | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | L/s | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 | L/s | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩比 | N2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大入口压力 *3 | 爸 | 133 | 40 | ||||
| 最大排气口压力 *3 | 爸 | 270 | 270 | ||||
| 转速 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟内 | 分差在11分以内 | 分差缩小到12分以内 | 分差缩小到18分以内 | |||
| 安装方向 | 全能安装 | ||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | ||||||
| 冷却水 | 流 | L/min | 1~3 | 2~4 | |||
| 水压 | MPaG | 02~0.5 | |||||
| 噪音 | dB（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 质量 | KG | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐的辅助泵 | 超过600升/分钟 | 超过1300升/分钟 | 超过1500升/分钟 | ||||
| 控制器 | 创作 | 分离 | |||||
| 输入电源 | 单相交流电200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大功率需求 | kVA | 1.0 | 1.5 | ||||
| 变速函数 | 操作速度可调整为泵指定转速的25% ~ 100%（设置为0.1%增量） | ||||||
| 外部控制 | 接触输入/输出 | ||||||
| RS-232C / RS-485 | |||||||
| 质量 | KG | 8 | |||||
*1：表示顺序。
*2：无保护网的价值。
*3：最大进气压力和最大排气压力的要求不能同时满足。