ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U8HSP
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U8HSP
特色
非常适合溅射工艺。
氩排量约为前一代型号（U8H）的2.5倍。
氢气排气速度比之前的型号（U8H）提高了约1.2倍。
再生间隔更长，有助于提升设备利用率。
支持多重操作（最多3台）。
尺寸（毫米）
规格
| 排气速度（20°C） | 氮 | L/s | 1,700 |
| 氢气 | 3,200 | ||
| 氩气 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 达到压力 | 帕（托尔） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s（Torr・L/s） | 1.2×103(8.9) |
| 氢气 | 2.4×102(1.8) | ||
| 排水容量 | 氩气 | Pa・L（Torr・L） | 2.5×108（1.9×106) |
| 氢气 | 1.0×106（7.8×103) | ||
| 冷却投放时间 （电源循环） | min（Hz） | 125/115(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-200,6BANSI，UFC-253 | ||
| 压缩机单元 | C10T，C10AT | ||
| 质量 | 公斤 | 33.2 | |
*维护间隔：16,000小时